Per la misura precisa della planarità senza contatto di campioni da 1 mm fino a 400 mm, Taylor Hobson presenta LUPHOScan. Il sistema è basato sulla tecnologia multi-wavelength interferometry.

L’esempio illustrato è piastra con finitura lappata di diametro 195 mm. La planarità del componente è inferiore a 0.5 micron.

piastra

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