La tecnica SIMS, spettrometria di massa a ioni secondari, consiste in un bombardamento (sputtering) della superficie del campione solido tramite un fascio di ioni primari ad energie di pochi keV. La micro-superficie investita viene ‘polverizzata’ e una frazione di particelle emesse viene ionizzata (ioni secondari). La SIMS consiste nel raccogliere ed analizzare questi ioni secondari tramite spettrometria di massa. Si hanno quindi informazioni sulla composizione isotopica, elementale e molecolare dei primi strati atomici superficiali.

Il IMS 7f-AUTO di CAMECA combina tutte le qualità del IMS 7f con sviluppi addizionali nell’automazione ed efficienza, come la nuova colonna primaria per il tuning più semplice e rapido e stabilità del fascio primario ottimizzata, e la camera portacampioni motorizzata con carico/estrazione automatizzata e controllabile da remoto, aumentando notevolmente il numero dei campioni da analizzare nel minimo tempo.

Grazie alla complete automazione, il IMS 7f-AUTO può analizzare un numero elevato di campioni anche durante la notte. Può essere ottenuta un’ elevata riproducibilità (RSD < 0.5 %), mantenendo ottimi limiti di rivelabilità, alta frequenza di campioni e produttività (lo strumento può essere utilizzato 24 ore al giorno con il minimo intervento esterno).

Le maggiori applicazioni per il IMS 7f-AUTO sono vetri, metalli, ceramiche, dispositivi basati su Si, III-V e II-VI film sottili…

 

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